电子级磷酸及其专用型电子化学品作为芯片制造过程中的重要化学品，其生产关键技术和装备长期被国外垄断。湖北兴发化工集团股份有限公司和武汉工程大学组成的项目团队，以工业黄磷为原料，开展了黄磷逐级净化、电子级磷酸防腐控制等关键技术研发，实现了高纯黄磷和电子级磷酸的国产化，也因此获得科技进步一等奖。
该项技术成果发明了工业黄磷逐级纯化技术，首次将活性炭吸附、硝酸氧化和连续减压精馏技术集成应用于工业黄磷纯化，制备出电子级磷酸专用黄磷，纯度超过99.9999%，砷含量≤10μg/kg，锑含量≤5μg/kg。
该技术成果还创新了电子级磷酸组合反应关键技术，开发出动态磷酸酐膜防腐和多级喷淋冷却—水合吸收组合反应技术，有效控制黄磷燃烧以及高温五氧化二磷水合过程中设备腐蚀带来的金属离子污染，使电子级磷酸中金属离子及砷含量≤10μg/kg。
此外，该技术成果突破了电子级磷酸在专用型电子化学品中的应用技术，开发了高选择性蚀刻液、金属蚀刻液等专用型产品，实现了国内磷酸基专用型电子化学品零的突破。
项目成果经鉴定整体达到国际先进水平，其中对产品中砷、锑等杂质的控制居于国际领先水平。采用该技术成果建成了年产1万吨高纯黄磷、3万吨电子级磷酸和5万吨专用型电子化学品生产线;电子级磷酸国产化率达到45%，其中在中芯国际使用比例达到60%以上，在华虹宏力使用比例达到90%以上，有力推动了芯片国产化进程。
（中国化工报）
